طراحی و ساخت فیلتر اپتیکی ضد بازتاب در طول موج 1064nm

با استفاده از لایه نشانی های اپتیکی، می توان میزان شدت عبور و بازتاب را تغییر دارد. فلتر اپتیکی ضد بازتاب که شدت بازتاب بسیار کم و شدت عبور بسیار بالایی دارد، در تهیه انواع لیزرها به کار می رود. با طراحی و لایه نشانی موادی با ضرایب شکست بالا و پایین و میزان ضریب خاموشی پایین، می توان فیلتر اپتیکی با حداقل شدت بازتاب و حداکثر شدت عبور را تهیه نمود. لایه های نازک (Ta(2)O(5 و (SiO(2 به عنوان مواد با ضرایب شکست بالا و پایین، می توانند به منظور تهیه فیلتر ضد بازتاب مورد استفاده قرار گیرند. در این تحقیق لایه های نازک (Ta(2)O(5 و (SiO(2 با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی RF روی زیرلایه شیشه ای (BK7) در دمای 300˚C انباشت شدند. با محاسبه پارامترهای اپتیکی این لایه ها، لایه نشانی فیلتر ضد بازتاب در طول موج 1064nm انجام پذیرفت. درصد شدت عبور فیلتر تهیه شده، 99/8 درصد اندازه گیری شد.

Keywords:

لایه نازک , فیلتر اپتیکی , ضد بازتاب , (Ta(2)O(5