بررسی اثرات ناهمسانگردی سیلیکون تک کریستال بر آسیب های زیرسطحی حاصل از ماشین کاری نانومتری
Publish place: Sixth International Conference on New Advances in Science and Technology Focused on Science in Development Services
Publish Year: 1398
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 410
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
DSCONF06_078
تاریخ نمایه سازی: 23 شهریور 1398
Abstract:
ماشینکاری نانومتری فرآیندی پیشرفته جهت نیل به صافی سطح و دقت ابعادی بالا میباشد؛ که با استفاده از آن میتوان مواد ترد همچون سیلیکون را نیز مانند مواد چکش خوار ماشینکاری نمود. با توجه به ناهمسانگرد بودن سیلیکون، رفتار براده برداری این ماده در جهات مختلف براده برداری متفاوت خواهد بود. در این مقاله به بررسی تاثیر شش حالت مختلف ماشینکاری در سه صفحه کریستالی پرداخته شده است. توزیع تنش و روند ایجاد آسیبهای زیرسطحی، مواردی بودند که مورد بررسی قرار گرفتند. نتایج نشان دهنده ایجاد آسیبهای زیرسطحی دندانه ای در جهت {110}<110> بود.
Keywords:
Authors
سیدنادر عاملی کلخوران
دانشجوی دکتری مهندسی مکانیک، ساخت و تولید، دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی، تهران
مهرداد وحدتی
دانشیار مهندسی مکانیک، ساخت و تولید، دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی، تهران