طراحی و ساخت حسگرفشار مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی نوری با ساختار تداخل سنجی

در این مقاله یک حسگرفشار مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی نوری با ساختار تداخل سنجی طراحی و شبیه سازی شده است. فرآیند ساختی که در این نوع حسگر فشار ارائه می گردد، مطابق تکنولوژی دانشگاه Twente هلند و حاوی دیافراگم سیلیکونی با ساختار لایه های براگ و آینه های دی الکتریک، از جنس نیترید سیلیکون می باشد. همچنین، یک تقسیم کننده و ترکیب کننده Y شکل وظیفه انتقال نور به ساختار حسگر و همچنین دریافت نور بازتابی و رساندن آن به آنالیزگر طیفی را دارد. سیستم کاری حسگر بدین شکل است که نور لیزری در بازه ای با مرکزیت 1512 نانومتر از طریق یک تقسیم کننده Y شکل به داخل حسگر وارد می شود. اعمال فشار سبب کشیده شدن لایه های براگ و شیفت طول موج بازتابی می گردد. طول موج بازتابی شیفت یافته دوباره از طری تقسیم کننده Y شکل به داخل آنالیزگر طیفی وارد می شود. خروجی حسگر از طریق بررسی داده های آنالیزگر طیفی بدست می آید.

Keywords:

سیستم های میکروالکترومکانیکی , حسگر فشار , ساختار لایه های براگ و آینه های دی الکتریک , آنالیزگر طیفی