بررسی تغییرات غلظت هیدروژن پراکساید و دما بر شکل گیری ساختارهای هرم وارونه
Publish Year: 1398
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 544
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NCNTA07_001
Index date: 20 October 2019
بررسی تغییرات غلظت هیدروژن پراکساید و دما بر شکل گیری ساختارهای هرم وارونه abstract
امروزه بافت دهی بستر سیلیکون یکی از موضوعات مهم در علم و تکنولوژی مدرن است. روش های مختلفی برای بافت دهی بستر سیلیکون وجود دارد که از آن جمله می توان به روش های زدایش تر و خشک اشاره نمود. از جمله روش های تر به زدایش شیمیایی با استفاده از فلزاتی همچون طلا، نقره، پلاتین و مس می توان اشاره کرد که با استفاده از این روش ها میتوان بستر سیلیکونی را متخلخل نمود. اخیرا تحقیقات فراوانی درباره ی استفاده از نانوذرات مس برای زدایش شیمیایی تر سیلیکون انجام شده است. استفاده از این نانو ذرات به ایجاد ساختارهایی به شکل هرم های وارونه روی سطح سیلیکون منجر می شوند. این نوع ساختارها نسبت به ساختارهای هرمی شکل برتری هایی نیز دارند که از آن جمله می توان به برتری جذب نور این ساختارها و نیز کاربرد آن ها در سلول های خورشیدی اشاره کرد. علاوه بر این مزیت های دیگری همچون سادگی و ارزان بودن این روش بافت دهی سطح سیلیکون را می توان عنوان کرد. ساختارهای هرم وارونه روی بستر سیلیکونی با استفاده از زدایش شیمیایی تر توسط یون های مس بدون نیاز به ماسک در محلول اسیدی (Cu(NO(3))(2)/HF/H(2)O(2 ایجاد می شوند. در این مقاله، ما به بررسی تاثیر دما و غلظت هیدروژن پراکساید بر شکل گیری هرم های وارونه سیلیکونی پرداخته ایم و در ادامه تغییرات را با هم مقایسه نمودیم.
بررسی تغییرات غلظت هیدروژن پراکساید و دما بر شکل گیری ساختارهای هرم وارونه Keywords:
بررسی تغییرات غلظت هیدروژن پراکساید و دما بر شکل گیری ساختارهای هرم وارونه authors
فرناز منصوری
دانشجوی کارشناسی ارشد، آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک، بخش مهندسی برق، دانشگاه شهید باهنر کرمان، کرمان، ایران
نجمه کاوسی
دانشجوی کارشناسی ارشد، آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک، بخش مهندسی برق، دانشگاه شهید باهنر کرمان، کرمان، ایران
مهدیه مهران
استادیار، آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک، بخش مهندسی برق، دانشگاه شهید باهنر کرمان، کرمان، ایران