ساخت میکروشیر پنیوماتیکی با استفاده از عملگر پینوماتیکی

هدف از این پروژه طراحی، تحلیل عددی و ساخت یک میکروشیر پنیوماتیکی1 است که با استفاده از عملگر پنیوماتیکی میتوان جریان در یک میکروکانال را تغییر داد. در ساخت این میکروشیر از فتولیتوگرافی2 و تکنولوژی غشاء3 لایه نازک استفاده شده است که با وجود سه کانال هوایی بر روی یک کانال جریان مایع و با فشار هوای موجود در این سه کانال، میتوان کانال مایع اصلی به کار رفته در کانال زیرین را مسدود کرد. شبیه سازیهای انجام گرفته برای این شیر نشان از عملی بودن ساخت و امکان استفاده از آن در سیستمهای میکروفلوییدیک4 است.

Keywords:

غشاء لایه نازک , فتولیتوگرافی , میکروشیر پنیوماتیکی , میکروفلوییدیک