سیویلیکا را در شبکه های اجتماعی دنبال نمایید.

Login
PapersConferencesJournals

میکروفن خازنی با اندازه کوچک و حساسیت بالا با به کار گیری دیافراگم دایروی با مرکز ثابت

Publish place: Journal of Intelligent Procedures in Electrical Technology، Vol: 6، Issue: 24
Publish Year: 1394
Type: Journal paper
Language: Persian
View: 253

This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download

DOWNLOAD Paper

Export:

Link to this Paper:
https://civilica.com/doc/1372069

Document National Code:

JR_JIPET-6-24_006

Index date: 9 January 2022

میکروفن خازنی با اندازه کوچک و حساسیت بالا با به کار گیری دیافراگم دایروی با مرکز ثابت abstract

در این مقاله، یک میکروفن خازنیMEMS  جدید تک تراشه بر روی ویفر سیلیکونی با کمینه کردن اندازه و کاهش استحکام  مکانیکی با استفاده از دیافراگم دایروی با مرکز ثابت پیشنهاد شده است. در میکروفن پیشنهادی دیافراگم شامل تعدادی حفره می باشد که موجب عبور هوا در شکاف مابین صفحه پشتی و دیافراگم می شود و به این ترتیب میرائی مربوط به صدا را در میکروفن کاهش می دهد. تازگی این روش، ایجاد میکروفن دایروی با مرکز ثابت می باشد که قطر دیافراگم کمتر از میکروفن خازنی مرسوم به دست می آید. ابتدا تحلیل مکانیکی روی دیافراگم میکروفن انجام می گیرد تا ولتاژ کششی به دست آید. ولتاژ کششی میکروفن دایروی پیشنهادی ۱۴ ولت می باشد. با توجه به ولتاژ کششی بدست آمده٬ ولتاژ بایاس به میکروفن اعمال شده و پارامترهای مختلف مانند ظرفیت خازنی و حساسیت اندازه گیری شد. با توجه به نتایج شبیه سازی کامسول (COMSOL)، میکروفن پیشنهادی با دیافراگم به قطر ۴۰۰ میکرومتر و ضخامت ۵/۱ میکرومتر، حساسیت ۲۳- دسی بل را نشان داد. در مقایسه با کارهای قبلی، میکروفن پیشنهادی با ولتاژ تغذیه کمتر عملکرد فرکانسی بهتر و حساسیت بیشتری را برای سنس نمودن صدا عرضه می کند

میکروفن خازنی با اندازه کوچک و حساسیت بالا با به کار گیری دیافراگم دایروی با مرکز ثابت Keywords:

میکروفن خازنی , ولتاژ کششی , مبدل های صوتی , الکترواستاتیکی , سیستمهای میکرو الکترومکانیکی (MEMS)

میکروفن خازنی با اندازه کوچک و حساسیت بالا با به کار گیری دیافراگم دایروی با مرکز ثابت authors

نسترن نادمی

کارشناس ارشد - دانشکده مهندسی برق – واحد تهران جنوب، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران

جواد کرمدل

دانشیار - دانشکده مهندسی برق – واحد تهران جنوب، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
R.P. Scheeper, A.G.H. Van der Donk, W. Olthuis, P. Bergveld, ...
B.A. Ganji, B.Y. Majlis, “Design and fabrication of a new ...
[۳]B.A. Ganjia, B.Y. Majlis, “High sensitivity and small size MEMS ...
B.A. Ganji, B.Y. Majlis, "Slotted capacitive microphone with sputtered aluminum ...
Cheng-Ta Yang, “The sensitivity analysis of a MEMS microphone with ...
P.C.P. Chao,et.al, “A new hybrid fabrication process for a high ...
[۷]P.R. Scheeper, B. Nordstrand, J.O. Gullfv, B. Liu, T. Clausen, ...
P. Rombach, M. Mullenborn, U. Klein, K. Rasmussen, "The first ...
X. Li, R. Lin, H. Kek, J. Miao, Q. Zou, ...
A. Torkkeli, O. Rusanen, J. Saarilahti, H. Sepp ä, H. ...
T. Ma, T.Y. Man, Y.C. Chan, Y. Zohar, M. Wong, ...
P. Singh,” Modeling and characterization of microelectromechanicalsystems condenser microphone”, PhD ...
B. AzizollahGanji, M. Taybi, “Accurate model of capacitance for MEMS ...
Q. Zou, Z. Li, L. Liu, "Design and fabrication of ...
A. Torkkeli, O. Rusanen, J. Saarilahti, H. Seppa, H. Sipola, ...
J. Chen, L. Liu, Z. Li, Z. Tan, Y. Xu, ...
X. Li, R. Lin, H. Kek, J. Miao, Q. Zou, ...
H.J. Kim, S.Q. Lee, K.H. Park, "A novel capacitive type ...
J.W. Weigold, T.J. Brosnihan, J. Bergeron, X. Zhang, "A MEMS ...
N. Mohamad, P. Iovenitti, T. Vinay, "High sensitivity capacitive MEMS ...
S.D. Senturia, “Microsystems design”, Kluwer Academic Publishers, pp. ۱۲-۵۶, ۲۰۰۰ ...
P.R. Scheeper, A.G.H. Van der Donk, W. Olthuis, P. Bergveld, ...
A. Torkkeli, O. Rusanen, J, Saarilahti, H., Seppa, H., Sipola, ...
L. Picolli, M. rassi, L. Rosson, P. Malcovati, A. Fornasari, ...
D.T. Blackstock, “Fundamentals of physical acoustics”, California: John Wiley & ...
P.R. Scheeper,A.G.H. Van der Donk, W. Olthuis, P. Bergveld, “A ...
Z. ˇSkvor, “On the acoustical resistance due to viscous losses ...
J. Bergqvist, F. Rudolf, “A Silicon condenser microphone using bond ...
M. Iwaki, “High-quality sound pickup method at the viewpoint of ...
J. Bergqvist, “Finite-element modelling and characterization of a silicon condenser ...
نمایش کامل مراجع