تخلیه مگنترونی DC در مخلوط گازی N2/Ar : مشخصه و شیمی پلاسما
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,360
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
PLASMA01_039
تاریخ نمایه سازی: 19 اردیبهشت 1391
Abstract:
تغییر ولتاژ کاتد و مشخصه I- V در تخلیه مگنترونی DC در مخلوط گازی N2/Ar در حضور اهداف آلیاژی Ti13Cu87 بر حسب فشار جزیی نیتروژن بررسی شده است. در یک توان تخلیه ثابت و فشار جزیی ثابت Ar ولتاژ کاتدی بر حسب فشار جزیی نیتروژن یک رفتار پسماندی از خود نشان می دهد . در فشارهای جزیی ثابت Ar و N2 جریان تخلیه بر حسب ولتاژ کاتدی به صورت (فرمول در متن اصلی مقاله) تغییر می کند که Vmin ولتاژ کمیته برای شروع تخلیه است که به ترکیب شیمیایی گاز و سطح هدف بستگی دارد. با استفاده از یک مدل ساده از واکنشها در محیط پلاسما ، شار یونی ، چگالی گونه های خنثی و محصول گسیل الکترون ثانویه در فشارهای جزیی مختلف نیتروژن محاسبه شده است.
Authors
علی رحمتی
گروه فیزیک -دانشکده علوم پایه- دانشگاه ولی عصر رفسنجان ؛ گروه فیزیک حا
محمد خان زاده
گروه فیزیک - دانشکده علوم پایه - دانشگاه ولی عصر رفسنجان
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :