طرحی جدید از شتاب سنج خازنی با تکنولوژی میکروماشین و با دو درجه آزادی
Publish place: 20th Iranian Conference on Electric Engineering
Publish Year: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 927
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE20_272
تاریخ نمایه سازی: 14 مرداد 1391
Abstract:
یک شتابسنج خازنی با ساختاری نوین و با دو درجه آزادی طراحی و شبیه سازی شده است. ساختار شتابسنج به گونه ای است که شتاب های وارد شده به سیستم در جهات z و xبا روابط ریاضی ساده قابل تفکیک و اندازه گیری می باشند. این در حالی است که شتاب اعمال شده در جهتy هیچگونه اثر ناخواسته ای در اندازه گیریهای شتابهای جهات z و x ندارد. این شتابسنج برای اندازه گیری شتاب های تا2g با رزولوشنmg طراحی شده است. نتایج شبیه سازی این ادعا را تایید می کند. ابعاد کلی این ساختار mm2× 2mm × 7μm می باشد.
Keywords:
Authors
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :