طراحی و ساخت منبع تغذیه جریان مستقیم پالسی به منظور لایه نشانی ترکیبات نارسانا در روش کندوپاش مغناطیسی

Publish Year: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 2,441

This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

NCPHYAPP01_073

تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1392

Abstract:

یک منبع تغذیه جریان مستقیم پالسی دو قطبی برای استفاده در سیستم کندوپاش مغناطیسی جهت پوشش دهی لایه های نازک نارسانا (Al2O3, NaxCo2O4, ITO, ZnO) ساخته شده است. منبع تغذیه از سه قسمت اصلی تشکیل شده است، (1) منابع تغذیه مستقم ولتاژ بالا با مدار های کنترل فاز و چند برابر کننده های ولتاژ، (2) مدار تولید کننده پالس قابل برنامه ریزی برای کنترل سوئیچ های قدرت، (3) مدارهای کنترل، حفاظت و اندازه گیری. پهنای پالس و دامنه ولتاژ منفی و مثبت بطور جداگانه قابل تعیین است. ولتاژ پیک تا پیک 1000V به صورت متقارن و یا نامتقارن با ماکزیمم جریان 2A بصورت منبع ولتاژ ثابت و یا منبع جریان ثابت با پهنای پالس حدود 10~100~Sµ با محدوده فرکانسی 8~22kHz تحت با اهمی بدست آمده است.

Keywords:

کندوپاش مغناطیسی , منبع تغذیه مستقیم پالسی دو قطبی , پوشش دهی لایه های نازک نارسانا

Authors

سید محمود محاطی

پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای

محمدرضا قاسمی

پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای

ضرغام اسدالهی

پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای

پروین بلاش آبادی

پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • _ _ _ _ _ _ 15-20, 2007. ...
  • Kristin B. Gylfason "Observation in solutions in a pulsed magnetron ...
  • B. Shamoun "RF powered target for increasing deposition uniformity in ...
  • H. C. Barshilia, K.S. Rajam "Reactive sputtering of hard nitride ...
  • W. Somkhunthot, T. Burinprakhon, I. Thomas, T. Seetawan, v. Amornkitb ...
  • _ _ Kouznetsov, K. Macak, J. M. Schneider, U. Helmersson, ...
  • نمایش کامل مراجع