مدلسازی تحلیل ریاضی و شبیه سازی عوامل موثردربهبود کارایی حسگرهای خازنی MEMS
Publish place: 21th Iranian Conference on Electric Engineering
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 545
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE21_054
تاریخ نمایه سازی: 27 مرداد 1392
Abstract:
دراین مقاله ما به بررسی وتحلیل ریاضی وشبیه سازی عواملموثر دربهبود عملکرد حسگرهای خازنی MEMS می پردازیم این حسگرها خازنی امروزه درساختار انواع حسگرها و ادوات الکترونیکی و مکانیکی بطور وسیع مورد استفاده قرارمیگیرند مانند حسگر اثرانگشت میکروفون شتابسنجها و.. .که نشانگر اهمیت این حسگرها می باشد این حسگرهای خازنی برپایه تغییرات خازنی عمل می کنند که این تغییرات خازنی براساس جابجایی الکترود بوجود می آیند جابجایی دیافراگم نیز میتوانددراثر اعمال فشار مانند فشارصوت دست و ... ایجاد گردد پس دراین حسگرها جابجایی الکترود و تغییرات خازنی عوامل تعیین کننده ای هستند دراین مقاله ما به بررسی و بهبود عملکرد حسگرخازنی بوسیله ایجاد تغییرات درساختار و موادتشکیل دهنده یالکترود می پردازیم
Authors
مجتبی شمی ناتری
دانشجوی دکتری
بهرام عزیزالله گنجی
استادیاردانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل