ساخت لایه اکسید آلومینیم Al2O3 توسط سیستم کندوپاش مغناطیسی دو تارگته
Publish place: 08th Iranian Ceramic Congress
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,073
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICC08_170
تاریخ نمایه سازی: 14 مهر 1392
Abstract:
لایه های اکسید آلومینیم در محیط Ar+O2 توسط س یستم کندوپاش مغناط یسی انباشت شده است . دست یابی به لا یه هایی با استوک یومتریAl2O3 به سبب تشک یل یک لا یه اکس یدی رو ی سطح تارگت مشکل می باشد آزمایشات نشان داده است که نسبتO2/Ar+O2 تاثیر زیادی در تشکیل لا یه هایی با استوکیومتری Al2O3 دارد. ایجاد لایه اکسید آلومینیم در شرایط مختلف از جمله تغییر فواصل زیر لایه از تارگت، تغییر دمای زیرلایه و تغییر نسبت گازها ی اکسیژن و آرگون بررسی شد نتایج حاصل ازSEM ،XRD و اندازه گیری مقاومت نمونه های ساخته شده ایجاد تشکیل لایه اکسید آلومینیوم مورد نظر می باشد
Authors
ضرغام اسدالهی
پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران
پروین بلاش آبادی
پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران
محمدرضا قاسمی
پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران
هوشیار سیدی
پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :