ساخت لایه اکسید آلومینیم Al2O3 توسط سیستم کندوپاش مغناطیسی دو تارگته
Publish place: 08th Iranian Ceramic Congress
Publish Year: 1390
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,118
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ICC08_170
Index date: 6 October 2013
ساخت لایه اکسید آلومینیم Al2O3 توسط سیستم کندوپاش مغناطیسی دو تارگته abstract
لایه های اکسید آلومینیم در محیط Ar+O2 توسط س یستم کندوپاش مغناط یسی انباشت شده است . دست یابی به لا یه هایی با استوک یومتریAl2O3 به سبب تشک یل یک لا یه اکس یدی رو ی سطح تارگت مشکل می باشد آزمایشات نشان داده است که نسبتO2/Ar+O2 تاثیر زیادی در تشکیل لا یه هایی با استوکیومتری Al2O3 دارد. ایجاد لایه اکسید آلومینیم در شرایط مختلف از جمله تغییر فواصل زیر لایه از تارگت، تغییر دمای زیرلایه و تغییر نسبت گازها ی اکسیژن و آرگون بررسی شد نتایج حاصل ازSEM ،XRD و اندازه گیری مقاومت نمونه های ساخته شده ایجاد تشکیل لایه اکسید آلومینیوم مورد نظر می باشد
ساخت لایه اکسید آلومینیم Al2O3 توسط سیستم کندوپاش مغناطیسی دو تارگته authors
ضرغام اسدالهی
پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران
پروین بلاش آبادی
پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران
محمدرضا قاسمی
پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران
هوشیار سیدی
پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :