بازتاب سنجی اشعه ایکس ؛ تکنیکی کارآمد ئر مشخصه یابی ساختاری لایه های نازک و چندلایه ای ها

در این مقاله تکنیک بازتاب اشعه ایکس جهت مشخصه یابی لایه های نازک معرفی می گردد. چندین نمونه چند لایه ای با استفاده از تکنیک کندوپاش مغناطیسی رشد داده شده اند. ساختار لایه ای نمونه ها با لستفاده از تکنیک های بازتاب و میکرسکوپ الکترونی مورد مطالعه قرار گرفته اند. نشان داده شده است که داده های بازتاب سنجی از ساختار نمونه ها می تواند اطلاعاتی را چون ضخامت لایه ها، تغییرات ضخامت و ناهمواری بین سطوح مشترک لایه ها را فراهم سازد که با فضای حقیقی تطابق دارد.