بررسی اثر دمای بازپخت بر نانوساختار و خواص الکتریکی وتزئینی لایه های نازک اکسید زیرکونیوم تهیه شده به روش کندوپاش
Publish place: 14th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1392
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 781
This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ISSE14_085
Index date: 29 January 2014
بررسی اثر دمای بازپخت بر نانوساختار و خواص الکتریکی وتزئینی لایه های نازک اکسید زیرکونیوم تهیه شده به روش کندوپاش abstract
لایه های نازک زیرکونیوم با استفاده از تکنیک کندوپاش مغناطیسی DC بر روی زیر لایه شیشه انباشته شدند.سپس لایه ها در دماهای مختلف C 500-100 در شار ثابت اکسیژن بازپخت شدند. نتایج پراش پرتو X- XRD نشان داد که فازهای مختلف اکسید زیرکونیوم در دماهای بازپخت متفاوت C 500-100 بدست می آید. این نتایج نشان داد که افزایش دمای بازپخت باعث افزایش اندازه بلورک ها(دانه) نانوکشش در ساختار لایه ها می شود. تصاویر میکروسکپ نیروی اتمی AFM برای تمام لایه ها ساختار دانه ای شکل را نشان داد، درحالیکه اندازه دانه ها و زمختی سطح با افزایش دمای بازپخت افزایش یافتند.بررسی EDAX نیز نشان داد که نسبت o/zr در دماهای C 500 ،400،300،200،100 به ترتیب 2.4 و 2.3 ،1.9،1.7 ،1.6 بود. لایه های بود. لایه های بالا c 500 و 400 شفاف و در دماهای پائین c 300 - 100 خاکستری و قهوه ای بودند. خواص الکتریکی بدست آمده با دستگاه دو پروب نشان داد که تغییرات مقاومت الکتریکی با ولتاژ اعمال شده تقریبأ ثابت است و مقاومت الکتریکی با افزایش دمای بازپخت افزایش می یابد.
بررسی اثر دمای بازپخت بر نانوساختار و خواص الکتریکی وتزئینی لایه های نازک اکسید زیرکونیوم تهیه شده به روش کندوپاش Keywords:
بررسی اثر دمای بازپخت بر نانوساختار و خواص الکتریکی وتزئینی لایه های نازک اکسید زیرکونیوم تهیه شده به روش کندوپاش authors
فاطمه جعفری
تهران، دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکز، دانشکده علوم، گروه فیزیک (دانشجوی کارشناس ارشد فیزیک)
کیخسرو خجیر
چالوس، دانشگاه آزاد اسلامی واحد چالوس، گروه فیزیک (استادیار)
ناصر زارع دهنوی
تهران، دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکز، دانشکده علوم، گروه فیزیک (استادیار)
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :