تأثیر میزان گاز نیتروژن (در مخلوط گاز نیتروژن وآرگون) بر روی خواص نانو ساختاری لایه های نیترید مس انباشتی بر روی شیشه توسط کندوپاش مغناطیسی واکنشی DC
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 599
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCNTA02_146
تاریخ نمایه سازی: 14 شهریور 1393
Abstract:
در این تحقیق، لایه های نیترید مس با استفاده از دستگاه کندوپاش مغناطیسی واکنشی DC بر روی زیر لایه های شیشه انباشت شده است. تنها پارامتر متغیر، درصد گاز نیتروژن و آرگون می باشد. خواص ساختاری، مورفولوژیکی، الکتریکی لایه های تهیه شده با استفاده از آنالیز های مختلفی مورد بررسی قرار گرفت. آنالیزپراش پرتو X بیانگر آن است که با کاهش میزان نیتروژن در مخلوط گازساختار لایه از حالت آمورف به کریستالی تغییر کرده است. همچنین از میکروسکوپ نیروی اتمی جهت بررسی مورفولوژی سطح لایه ها و نیز مقایسه و محاسبه زبری سطوح استفاده شده است و نشان می دهد که سایز دانه های تولید شده در محدوده nm 58-70 می باشد. آنالیز پروب چهار نقطه نیز نشان می دهد که مقاومت سطح لایه های تهیه شده متأثر از ساختار لایه ها بوده و با کاهش زبری سطح لایه افزایش می یابد.
Keywords:
Authors
حمیده سلجوقی
دانشجو، گروه فیزیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج
فاطمه حاج اکبری
عضو هیئت علمی، گروه فیزیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج
علیرضا هژبری
عضو هیئت علمی، گروه فیزیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :