بررسی تأثیر انرژی یون های پلاسما بر روی خواص ساختاری، الکتریکی و مکانیکی لایه های نازک نیترید تیتانیوم تهیه شده به روش کندوپاش پلاسمایی واکنشی
Publish place: Second National Conference on Materials Engineering
Publish Year: 1393
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,022
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NCOMAE02_004
Index date: 6 June 2015
بررسی تأثیر انرژی یون های پلاسما بر روی خواص ساختاری، الکتریکی و مکانیکی لایه های نازک نیترید تیتانیوم تهیه شده به روش کندوپاش پلاسمایی واکنشی abstract
در این پژوهش لایه های نازک نیترید تیتانیوم با استفاده از گاز کندوپاشی آرگون و گاز واکنشی نیتروزن به روش کندوپاش پلاسمایی واکنشی تهیه شدند و تأثیر تغییرات انرژی یون های بمباران کننده بر شکل گیری و خواص فیزیکی لایه ها مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان دهنده آن است که با افزایش توان منبع تغذیه (و در نتیجه افزایش انرژی یون های پلاسما) نرخ نهشت، ضخامت و اندازه دانه ها در لایههای تهیه شده افزایش می یابند. افزایش اندازه دانه ها که حاکی از بهبود خواص ساختاری و بلورینگی لایهها می باشد نتایجی از جمله کاهش مقاومت الکتریکی ویزه و افزایش سختی مکانیکی لایه های تهیه شده را در پی دارد.
بررسی تأثیر انرژی یون های پلاسما بر روی خواص ساختاری، الکتریکی و مکانیکی لایه های نازک نیترید تیتانیوم تهیه شده به روش کندوپاش پلاسمایی واکنشی authors
نادر قبادی
گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه ملایر
محسن گنجی
گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه ملایر