بررسی اثر کاشت یون ازت بر روی لایه های کرم
Publish Year: 1393
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 654
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
AREBS01_041
Index date: 4 January 2016
بررسی اثر کاشت یون ازت بر روی لایه های کرم abstract
در این مقاله اثر کاشت یونهای ازت بر روی لایه های نازک کرم تقریبا 600nm که به وسیله تفنگ پرتوی الکترونی بر روی سیلیکون کریستالی نشانده شده بررسی شده است. کاشت یونهای ازت درمحدوده دز at0/cm2 (فرمول در متن اصلی مقاله) و با انرزی 15 kev انجام شده است. برای بهبود خصوصیات سطحْ نمونه ها به مدت 24 ساعت در دمای (فرمول در متن اصلی مقاله) در شرایط خلا و در حضور گاز نئون بازپخت شده و برای پی بردن به یکنواختی سطح و نیز تغییرات آن در اثر کاشت یونهای ازت و نیز بازپختْ از SEM,AFM استفاده شده است
بررسی اثر کاشت یون ازت بر روی لایه های کرم Keywords:
بررسی اثر کاشت یون ازت بر روی لایه های کرم authors
زیبا دانش
مدرس دانشگاه فیزیک اتمی مولکولی
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :