اندازه گیری ضخامت لایه نشانی با دقت بالا

با توجه به افزایش روزافزون گرایش به فناوری نانو، ابعاد تراشه های الکترونیکی روز به روز در حال کاهش است،بنابراین ارائه روشی جهت تعیین دقیق میزان ضخامت آن ها دارای اهمیت علمی و صنعتی است. یک از روش های موردتوجه در این زمینه روش تبخیری است که دارای مزایایی از قبیل آهنگ انباشت بالا و سهولت اجرا می باشد. در اینتحقیق اندازه گیری ضخامت لایه های نشانده شده به روش تبخیری جهت لایه نشانی مواد بر زیر لایه کوارتز انجام میپذیرد. سپس با استفاده از عبور جریان از یک المنت، دما بالا رفته و به این ترتیب ماده ای که بر روی المنت قرار داردتبخیر می شود. ماده تبخیر شده بر روی سطح کریستال مسطح (QCM) نشسته و در انتها توسط مدارات واسط تغییراتضخامت لایه های نازک، به تغییرات فرکانس تبدیل، سپس به کامپیوتر منتقل و نرخ رشد به نمایش گذاشته می شود.اعمال این روش بر روی یک نمونه آزمایشگاهی در خلاء نشان می دهد که اندازه گیری ضخامت لایه نشانی بر روی سطحکریستال مسطح با دقت چند نانومتر امکان پذیر می باشد.

Keywords:

ضخامت , QCM , روش تبخیری , نانومتر