بررسی اثر سایز بر ناپایداری pull-in در میکروتیرهای تحریک شده به روش الکترواستاتیکی
Publish place: اولین کنفرانس بینالمللی مهندسی مکانیک و هوافضا
Publish Year: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 570
This Paper With 10 Page And PDF and WORD Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
MECHAERO01_211
تاریخ نمایه سازی: 21 شهریور 1395
Abstract:
میکروتیرهای الکترواستاتیکی یکی از ادواتی است که امروزه در ساخت میکروحسگرها و میکرومحرکهای مورد استفاده در سیستمهای میکروالکترومکانیکی کاربرد زیادی دارد. یکی از مهمترین مشکلاتی که در این ادوات وجود دارد، پدیده غیرخطی pull-in است به طوری که در میکرومحرکها، حد ولتاژ اعمالی را محدود می کند. در این مقاله به بررسی ولتاژ pull-in در یک میکروتیر یکسردرگیر به روش المان محدود پرداخته شده است. جهت تحلیل الکترواستاتیکی- مکانیکی از روش غیر مستقیم(پی در پی) و روش مستقیم استفاده گردید. نتایج تحلیل المان محدود حاکی از آن است که با افزایش طول میکروتیر، ولتاژ pull-in کاهش پیدا می کند. مقایسه نتایج تحلیل المان محدود به روش مستقیم و غیر مستقیم نشان از آن دارد که در روش مستقیم، مقدار ولتاژ pull-in بدست آمده کمتر از روش غیر مستقیم است. در انتها صحت نتایج حاصل از بررسی های انجام شده توسط روش المان محدود با روابط مکانیک کلاسیک حاکم بر میکروتیرهای الکترواستاتیکی مورد بررسی قرار گرفت و مشخص شد که تطابق خوبی بین نتایج داده های المان محدود با روابط مکانیک کلاسیک حاکم برقرار است.
Keywords:
Authors
محمد طهماسبی پور
استادیار/ تهران، خیابان کارگر شمالی، دانشگاه تهران، دانشکده علوم و فنون نوین
حسین سالارپور
کارشناس ارشد مهندسی سیستم های میکرو و نانو الکترو مکانیک/ تهران، خیابان کارگر شمالی، دانشگاه تهران، دانشکده علوم و فنون نوین
مریم ثابت ایمانی
دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی سیستم های میکرو و نانو الکترو مکانیک/ تهران، خیابان کارگر شمالی، دانشگاه تهران، دانشکده علوم و فنون نوین
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :