بررسی اثر تنش های سطحی بر خاصیت پیزورزیستیو تراشه سیلیکن و کاربرد آن در سنسورها و ترانسدیوسرهای فشاری دیافراگمی
Publish place: 7th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1385
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 2,251
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ISSE07_112
Index date: 18 June 2008
بررسی اثر تنش های سطحی بر خاصیت پیزورزیستیو تراشه سیلیکن و کاربرد آن در سنسورها و ترانسدیوسرهای فشاری دیافراگمی abstract
در این مقاله تغییر مقاومت الکتریکی نیمه هادی سیلیکن در اثر تنش های سطحی بررسی می گردد . این تنش های سطحی ناشی از اعمال فشار به دیافراگم سیلیکن می باشند. فشار یا تنش مکانیکی باعث تغییر در حجم فیزیکی ماده می شود. دراثر فشار، ثابت شبکه جسم بلوری تغییرمی نماید. تغییر در ثابت شبکه باعث تغییر درگاف انرژی می گردد. این تغییر نیز باعث تغییر غلظت حامل های بار یعنی الکترون های باند رسانش و حفره های باند ظرفیت میشود. نهایتاً تغییر در غلظت حامل های بار سبب تغییر رسانش الکتریکی جسم میگردد. خواص الکترومکانیکی ذاتی تراشه سیلیکن سبب می شود تا در اثر تنش، تغییر مقاومت ویژه قابل توجه ای به وجود آید . این تراشه به صورت لایه های نازک روی دیافراگم کاشت یون می شوند . در این تحقیق تغییر مقاومت الکتریکی تراشه سیلیکن در اثر تنش های طولی و عرضی، شناسایی محل ظهور حداکثر تنش سطحی، تنش سطحی در شکل های مختلف هندسی دیافراگم و محدودیت تنش سطحی در رابطه با محدودیت ساخت بررسی خواهد شد . برای اندازه گیری تغییر مقاومت کل، یک سیستم پل مقاومتی با چیدمانی چهار مقاومت متغیر طراحی گردیده که به عنوان سنسور عمل می کند . پیزورزیستیوها برای اندازه گیری فشار در حالت دائمی یا فشار استاتیک به خوبی اندازه گیری فشار در حالت های دینامیکی کار می کنند. در نهایت مزایای ترانسدیوسرهای پیزورزیستیو نسبت به سایر ترانسدیوسرهای الکترومکانیکی از نظر حساسیت، ابعاد، حجم، وزن، خروجی خطی، حذف اثرات پسماند و حذف خزش زمانی بررسی گردیده است.
بررسی اثر تنش های سطحی بر خاصیت پیزورزیستیو تراشه سیلیکن و کاربرد آن در سنسورها و ترانسدیوسرهای فشاری دیافراگمی Keywords:
بررسی اثر تنش های سطحی بر خاصیت پیزورزیستیو تراشه سیلیکن و کاربرد آن در سنسورها و ترانسدیوسرهای فشاری دیافراگمی authors
نوازالله بهرامی نژاد
بخش مهندسی مواد، دانشگاه شیراز
سیروس جوادپور
بخش مهندسی مواد، دانشگاه شیراز
اردشیر حسین پور
بخش مهندسی مواد، دانشگاه شیراز
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :