ساخت فیلم نازک NiTi(Si) برای کاربرد در سیستم های میکروالکترومکانیکی زیستی قابل استفاده در پزشکی

در این مقاله آخرین دستاوردهای حاصل از کندوپاش روی صفحه سیلیسیمی آلیاژ هوشمند نیکل - تیتانیوم به منظور ساخت فیلم نازک دارای خواص متفاوت گزارش شده است. کامپوزیت (NiTi(Si حاصل به سبب دارا بودن خواص مطلوبی همچون انعطاف پذیری، حافظه داری، سوپرالاستیسیته و استحکام، قابلیت استفاده در ساختارهای مرکب و ساده در مهندسی پزشکی و صنایع پیشرفته را دارد. فیلم های نازک دارای ساختار لایه ای چند گانه، در صنایع میکرونی مانند سامانه های میکروالکترومکانیکی می تواند به کار برده شود. زیست سازگاری خوب کامپوزیت حاوی فیلم نازک، کاربرد سیستم های میکروالکترومکانیکی زیستی را در وسایل جابجایی سلول، برداشتن تومور، رسانش دارو به سلول و برش اعصاب در حین عمل جراحی با حداقل آسیب رسانی توجیه می نماید.

Keywords:

آلیاژ حافظه دار (NiTi(Si , سیستم الکترومکانیکی , فیلم نازک , اسپاترینگ (کندوپاش)