Simulation and Analysis different Mems Pressure Sensor uses Comsol Multiphysics ۵.۲
Publish Year: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: English
View: 557
This Paper With 14 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IRCEM01_182
تاریخ نمایه سازی: 25 آذر 1395
Abstract:
The MEMS different pressure sensor has been introduced and presented.The types of pressure sensor and its theory of operation are also included.The most interesting features of Mems capacitive pressure sensorsrelated to low power consumption, high sensitivity and immutabilitytemperature effects. Few models of pressure sensors have been simulatedand the results are presented. Simulation results show how thecapacitance varies with increase pressure and diaphragm defermationunder pressure. The design, modelling and simulation of pressure sensorshave been done using Comsol/Multphysics ۵.۲
Keywords:
Authors
Nader Ahmadzadeh
Department of Electronic Engineering, Islamic Azad University South Tehran Branch, Tehran, Iran
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :