ضخامت سنجی لایه های نازک در حین فرآیند لایه نشانی و تعیین تابع دی الکتریک مختلط به صورت همزمان مبتنی بر زوایای تابش چندگانه بیم های لیزر
Publish place: 3rd National Conference on Vacuum
Publish Year: 1386
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,446
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دانلود نمایند.
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NCV03_029
Index date: 22 August 2008
ضخامت سنجی لایه های نازک در حین فرآیند لایه نشانی و تعیین تابع دی الکتریک مختلط به صورت همزمان مبتنی بر زوایای تابش چندگانه بیم های لیزر abstract
در این مقاله روشی جهت اندازه گیری تابع دی الکتریک مختلط و ضخامت فیلم های خیلی نازک به صورت همزمان، در طول پروسه لایه نشانی ارائه می شود. برای این منظور دستگاه معادلات شدت نور بازتابیده و عبوری تحلیل گردیده و اجزاء حقیقی و موهومی تابع دی الکتریک و همچنین ضخامت فیلم در حال لایه نشانی بدست می آیند. نتایج عملی توسط یک سیستم طراحی شده برای دریافت بلادرنگ داده های شدت نور، برای لایه نشانی فلز آلومینیوم در دو طول موج لیزر برابر 650 نانومتر (نور قرمز روشن) و 780 نانومتر (نور مادون قرمز نزدیک) روی بستر شیشه ارائه شده اند.
ضخامت سنجی لایه های نازک در حین فرآیند لایه نشانی و تعیین تابع دی الکتریک مختلط به صورت همزمان مبتنی بر زوایای تابش چندگانه بیم های لیزر authors