ضخامت سنجی لایه های نازک در حین فرآیند لایه نشانی و تعیین تابع دی الکتریک مختلط به صورت همزمان مبتنی بر زوایای تابش چندگانه بیم های لیزر
Publish place: 3rd National Conference on Vacuum
Publish Year: 1386
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,363
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCV03_029
تاریخ نمایه سازی: 1 شهریور 1387
Abstract:
در این مقاله روشی جهت اندازه گیری تابع دی الکتریک مختلط و ضخامت فیلم های خیلی نازک به صورت همزمان، در طول پروسه لایه نشانی ارائه می شود. برای این منظور دستگاه معادلات شدت نور بازتابیده و عبوری تحلیل گردیده و اجزاء حقیقی و موهومی تابع دی الکتریک و همچنین ضخامت فیلم در حال لایه نشانی بدست می آیند. نتایج عملی توسط یک سیستم طراحی شده برای دریافت بلادرنگ داده های شدت نور، برای لایه نشانی فلز آلومینیوم در دو طول موج لیزر برابر 650 نانومتر (نور قرمز روشن) و 780 نانومتر (نور مادون قرمز نزدیک) روی بستر شیشه ارائه شده اند.
Authors