مطالعه تاثیر کاشت یونی بر ساختار بلوری و مورفولوژی سطح تک بلور سیلیسیم
Publish place: 3rd National Conference on Vacuum
Publish Year: 1386
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 2,355
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NCV03_037
Index date: 22 August 2008
مطالعه تاثیر کاشت یونی بر ساختار بلوری و مورفولوژی سطح تک بلور سیلیسیم abstract
در این مقاله آسیب بلوری ایجاد شده بر اثر کاشت ناخالصی ژرمانیوم با دو دوز و انرژی متفاوت در تک بلور سیلیسیم بررسی شده است. دز و انرژی ناخالصی های ژرمانیوم کشت شده در سیلیسیم عبارت است از: atom/cm2 10 به توان 15 با انرژی 3keV و atoms/cm2 5 ضربدر 10 به توان 16 با انرژی 100keV. آسیب بلوری ایجاد شده، با استفاده از تکنیک RBS-Channeling بررسی و پروفایل اتم های سیلیسیم جابجا شده از مکان شبکه ای خود بر حسب عمق، بعد از کاشت یونی به دست آمده است. همچنین اثر بازپخت حرارتی بر ترمیم شبکه بلوری سیلیسیم نیز مطالعه و بررسی شده است. علاوه بر این مورفولورژی سطح بلور سیلیسیم در جهت (100) که با یون های زرمانیوم کاشت شده است. با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) قبل از بازپخت حرارتی مورد بررسی قرار گرفته است.
مطالعه تاثیر کاشت یونی بر ساختار بلوری و مورفولوژی سطح تک بلور سیلیسیم authors
عرفان لطفی
دانشگاه آزاد سنندج، گروه فیزیک
داوود آقاعلی گل
گروه فیزیک پژوهشکده علوم هستهای، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهرا
مهرداد شیروانی
بخش لیزر نیمه هادی پژوهشکده لیزر، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهرا
علی باقی زاده
گروه فیزیک پژوهشکده علوم هستهای، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهرا
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :