تاثیر پارامترهای طراحی بر افزایش حساسیت سنجش حسگر فشار پیزومقاومتی مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی
Publish Year: 1395
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 687
This Paper With 16 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
PENPP01_029
Index date: 9 June 2017
تاثیر پارامترهای طراحی بر افزایش حساسیت سنجش حسگر فشار پیزومقاومتی مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی abstract
در این مقاله ، حسگر فشار پیزو مقاومت با تکنولوژی میکروتراشکاری سطحی، طراحی و شبیه سازی شده و تاثیرتغییرات پارامترهای هندسی بر حساسیت سنجش بررسی و طراحی مناسب برای بهبود آن ارایه گردیده است. فرآیندحسگری، مبتنی بر انحراف دیافراگم سیلیکون نیترید می باشد. جهت دستیابی به نتایج دقیق، از روش المان محدود استفاده شده و بر اساس آن حساسیت خروجی سنسور فشار ارزیابی گردیده است. در ابتدا تاثیر شکل هندسی دیافراگمروی خروجی حسگر در فشارهای مختلف بررسی شده است. در ادامه اثر موقعیت مقاومتهای پیزو و ابعاد آنها بر عملکرد سیستم محاسبه گردیده و بهترین شکل و موقعیت قرارگیری مقاومت های پیزو در دیافراگم نتیجه گیری شده است. در پایان نیز پارامترهای یک حسگر فشار پیزومقاومت بهینه شده را بدست آورده ایم . نتایج این شبیه سازی نشان می دهد کهانتخاب صحیح شکل هندسی دیافراگم، ابعاد و موضع پیزو مقاومت ها، قادر به ارتقای حساسیت سنسور و در عین حال کاهشمصرف توان آن می باشد.
تاثیر پارامترهای طراحی بر افزایش حساسیت سنجش حسگر فشار پیزومقاومتی مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی Keywords:
حسگر فشار پیزو مقاومت , سیستم های میکروالکترومکانیکی , انحراف دیافراگم , حساسیت سنجش , روش المان محدود
تاثیر پارامترهای طراحی بر افزایش حساسیت سنجش حسگر فشار پیزومقاومتی مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی authors
سیدحسین هاشمی نژاد
کارشناس ارشد مهندسی برق گرایش الکترونیک ، مجتمع گاز پارس جنوبی ، عسلویه ، ایران اخذ مدرک کارشناسی ارشد برق الکترونیک از دانشگاه آزاد واحد بوشهر ، شاغل در مجتمع گاز پارس جنوبی
زهیر کردرستمی
دکترای برق گرایش نانوالکترونیک ، دانشکده مهندسی برق ، دانشگاه صنعتی شیراز ، شیراز ، ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :