تهیه لایه های نازک نیترید مس (Cu2N) به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC و بررسی خصوصیات آنها با تغییر دمای زیرلایه
Publish place: 10th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1388
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,416
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ISSE10_049
Index date: 21 March 2009
تهیه لایه های نازک نیترید مس (Cu2N) به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC و بررسی خصوصیات آنها با تغییر دمای زیرلایه abstract
دراین کار تجربی لایه های نازک نیترید به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC بر روی زیرلایه های شیشه ای تحت دمای متفاوت زیرلایه در محدوده 2100-90C و آهنگ شارش ثابت نیتروژن sccm12/5 نوشته شده اند. طیف های پراش پرتو ایکس XRD نشان می دهد که فیلم ها دارای طبیعت چند بلوری هستند و سمت گیری کریستالی فیلم ها با افزایش دمای زیرلایه از (111) به (100) تغییر پیدا می کنند. مقاومت ویژه الکتریکی با افزایش دمای زیرلایه، کاهش می یابد. وابستگی دمای زیرلایه به نرخ نهشت فیلم ها نشان داده شد و علت تغییرات مشاهده شده مورد بحث قرار گرفت.
تهیه لایه های نازک نیترید مس (Cu2N) به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC و بررسی خصوصیات آنها با تغییر دمای زیرلایه Keywords:
تهیه لایه های نازک نیترید مس (Cu2N) به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC و بررسی خصوصیات آنها با تغییر دمای زیرلایه authors
حسن بیدادی
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
فرامرز هادیان
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
بیان کریمی
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
ایران صیدی
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز