شبیه سازی مکانیکی و مدال یک نوع سنسور میدان مغناطیسی تشدیدی با استفاده از نرم افزار Coventor
Publish place: Conference on New Research in Science and Engineering
Publish Year: 1395
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 668
This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NRSECONF02_095
Index date: 11 May 2018
شبیه سازی مکانیکی و مدال یک نوع سنسور میدان مغناطیسی تشدیدی با استفاده از نرم افزار Coventor abstract
این مقاله به معرفی یک نوع سنسور میدان مغناطیسی برپایه سیستمهای میکرو الکترومکانیکی به نام Zanetti که بر پایه یک زیلوفن تشدیدی طراحی شده است میپردازد. در این مقاله سنسور میدان مغناطیسی با استفاده از نرم افزار Coventor طراحی شده و آنالیز مکانیکی و مدال بر روی آن صورت گرفته است. بخش طراحی شامل بخش لایه نشانی و اچینگ که در محیط process editor و ابعاد زیر لایه، آرایش ماسک گذاری و ایجاد لایه که در محیط Layout editor صورت می گیرد. آنالیز مکانیکی و مش بندی ساختار سنسور در محیط Processor نرم افزار Coventor انجام می گیرد.
شبیه سازی مکانیکی و مدال یک نوع سنسور میدان مغناطیسی تشدیدی با استفاده از نرم افزار Coventor Keywords:
سیستمهای میکروالکترومکانیکی , سنسور میدان مغناطیسی Zanetti , شبیه سازی مکانیکی و مدال , نرم افزار Coventor
شبیه سازی مکانیکی و مدال یک نوع سنسور میدان مغناطیسی تشدیدی با استفاده از نرم افزار Coventor authors
هادی نبی زاده
مجتمع دانشگاهی برق و الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
محمدرضا علیزاده پهلوانی
دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه تبریز