اثر آهنگ انباشت روی خواص الکتریکی، اپتیکی و ساختاری لایه های نازک ZnO انباشتی به روش تبخیر پرتو الکترونی

فیلمهای Zno روی بستره های شیشه ای در دمای اتاق به روش تبخیر پرتو الکترونی با آهنگهای انباشت مختلف رشد داده شده اند. مشخصات الکتریکی، اپتیکی و ساختاری لایه ها نظیر مقاومت سطحی الکتریکی، تراگسیل و اندازه ی دانه بعد از بازپخت به دست آمده است. لایه های به دست آمده با اندازه گیری های XRD و اسپکتروفوتومتر آنالیز شدند. نتایج XRD نشان داد که با افزایش آهنگ انباشت از 2 تا 3A/s لایه های شفاف با رسانندگی بالا می تواند حاصل شود. درنهایت معلوم شد که آهنگ انباشت نقش مهمی در کنترل خواص الکتریکی و اپتیکی لایه های نازک ZnO ایفا می کند.

Keywords:

پرتو الکترونی , آهنگ انباشت , لایه های نازک