بررسی خواص ساختاری و فیزیکی فیلم های نیترید زیرکونیوم لایه نشانی شده بر روی( Si(100 به روش کندوپاش یونی
Publish place: 16th Iranian Conference on Optics and Photonics (ICOP2010)
Publish Year: 1388
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,411
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ICOPTICP16_104
Index date: 9 July 2009
بررسی خواص ساختاری و فیزیکی فیلم های نیترید زیرکونیوم لایه نشانی شده بر روی( Si(100 به روش کندوپاش یونی abstract
در این کار تحقیقاتی فیلمهای نازک نیترید زیرکونیوم (ZrN) به روش کندوپاش یونی با نسبت های مختلف گاز نیتروژن برروی زیرلایه (100)Si لایه نشانی شده اند. نمونه ها توسط طیف سنج پس پراکندگی رادرفورد (RBS) صخامت سنجی شده و بوسیله آنالیز XRD ساختار سنجی شده و در نهایت به کمک طیف سنج نوری میزان و نحوه بازتابش نوری لایه های مختلف مورد بررسی قرار گرفته است. سپس نمونه ها در مجاورت هیدروژن و دمای 800C بازپخت شده و تغییرات بوجود آمده درنمونه ها بررسی شده است. با توجه به نمودارها تشکیل فاز (111)ZrN مشهود است و بعد از عملیات حرارتی شاهد تشکیل ZrH, ZrO2 نیز هستیم که باعث تغییر ساختار نمونه ها شده است.
بررسی خواص ساختاری و فیزیکی فیلم های نیترید زیرکونیوم لایه نشانی شده بر روی( Si(100 به روش کندوپاش یونی Keywords:
بررسی خواص ساختاری و فیزیکی فیلم های نیترید زیرکونیوم لایه نشانی شده بر روی( Si(100 به روش کندوپاش یونی authors
شهاب نوروزیان
مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران
مجید مجتهدزاده لاریجانی
پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی کرج
جهانبخش مشایخی
مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران، تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :