آنالیز نمایه عمق لایه های میکرومتری با استفاده از روش طیف سنجی تخلیه القایی لیزری (LIBS) و مقایسه آن با نتایج شبیه سازی

هانیه افخمی اردکانی; عاطفه مموزاده; سیدحسن توسلی

آنالیز نمایه عمق لایه های میکرومتری با استفاده از روش طیف سنجی تخلیه القایی لیزری (LIBS) و مقایسه آن با نتایج شبیه سازی

Publish place: 16th Iranian Conference on Optics and Photonics (ICOP2010)

Publish Year: 1388

Type: Conference paper

Language: Persian

متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دانلود نمایند.

Certificate
I'm the author of the paper

Export:

Link to this Paper:

https://civilica.com/doc/73793

Document National Code:

ICOPTICP16_248

Index date: 9 July 2009

آنالیز نمایه عمق لایه های میکرومتری با استفاده از روش طیف سنجی تخلیه القایی لیزری (LIBS) و مقایسه آن با نتایج شبیه سازی abstract

در این مقاله به مطالعه روش طیف سنجی تخلیه القایی لیزری (LIBS) به منظور ضخامت سنجی لایه مس بر زیرلایه آلومینیوم پرداخته میشود. هارمونیک چهارم لیزر Nd:YAG با طولموج 266 نانومتر و طول پالس 5ns به منظور ایجاد کندگی در نمونه ها به کارمیرود. اثر انرژیهای مختلف لیزر و ضخامت لایه بر نرخ کندگی و تفکیک پذیری عمق مورد بررسی قرار میگیرد. نمایه های عمق بهنجار شدهی شدت طیفی (NI) با مورد غلظت بهنجار شده (NC) مقایسه میگردند. به منظور شبیه سازی آنالیز نمایه عمق نمونه های فلزی، مدل کندگی لیزری چندپالسی در سه بعد معرفی میگردد. ضریب همبستگی بالای 0.98 ، بین نمایه های عمق حاصل از مدل و آزمایشات که بر مبنای روش NC بدست آمدند ملاحظه گردید.

آنالیز نمایه عمق لایه های میکرومتری با استفاده از روش طیف سنجی تخلیه القایی لیزری (LIBS) و مقایسه آن با نتایج شبیه سازی Keywords:

تفکیک پذیری عمق , ضخامت سنجی , طیف سنجی تخلیه القایی لیزری , نرخ کندگی , نمایه عمق

آنالیز نمایه عمق لایه های میکرومتری با استفاده از روش طیف سنجی تخلیه القایی لیزری (LIBS) و مقایسه آن با نتایج شبیه سازی authors

هانیه افخمی اردکانی

تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما

عاطفه مموزاده

تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما

سیدحسن توسلی

تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :

H. Balzer, M. Hilters, V. Sturm, R. Nol "systematic line ...

H. Balzer, M. Hilters, R. Noll, V. Sturm, :New approach ...

M. P. Mateo, J. M. Vadillo, and J. J. Laserna, ...

D. R. Anderson, C. W. McLeod, T. English, A. T. ...

ASTM E-42, Standard Terminology Relating to Surface Analysis E 673-91c, ...

نمایش کامل مراجع