اثر دمای آنیلینگ بر خواص کربن شبه الماسی تهیه شده به روش باریکه یونی

در این پژوهش فیلم های کربن شبه الماسی روی زیر لایه سیلیکونی تک بلور با استفاده از دو گاز آرگون و پروپان به روش باریکه یونی خطی اعمال شد. سپس ساختار کریستالی، نوع پیوندها، نسبت هیبریداسیون های SP3 به SP2، توپوگرافی و مورفولوژی سطح پوشش به ترتیب به روش های آزمون طیف سنجی تبدیل فوریه مادون قرمز، طییف سنجی رامان و میکروسکپ الکترونی روبشی گسیل میدانی مورد بررسی قرار گرفت. در ادامه منحنی های سیکل گرمایشی نمونه ها در دماهای 300 و 500 درجه سانتی گراد با استفاده از کوره استوانه ای انجام و پایداری حرارتی پوشش کربن شبه الماسی بررسی شد. نتایج نشان داد که پوشش های کربن شبه الماسی تا دمای 200 درجه سانتی گراد در مقابله حرارت پایدار می باشند و در دماهای بالاتر از 200 درجه سانتی گراد این فیلم ها شروع به تجزیه شدن کرده و تخریب می شوند.

Keywords:

لایه نازک , کربن شبه الماسی , پرتویونی , مادون قرمز