مقایسه خاصیت آبگریزی لایه نازک دی اکسیدزیرکونیوم تهیه شده با دو روش اسپری پایرولیز واسپین کوت
Publish Year: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 435
This Paper With 11 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NRCP04_032
تاریخ نمایه سازی: 23 آذر 1397
Abstract:
در این مقاله میزان آبگریزی سطح سلیکون پوشش داده شده با دی اکسید زیرکونیوم 2 با دو روش اسپری پایرولیز و اسپین کوت مورد بررسی قرار گرفته است، محلول آماده شده برای این منظور با روش اسپری پایرولیز200 1 میلی لیتر محلول طی 20 مرحله و در هر مرحله 10 میلی لیتر اسپری شد و با روش اسپین کوت2 بر روی بستر سیلیکون تک کریستال در 8 مرحله به صورت لایه نازک نشانده شده و تحت پخت با دماهای 450 درجه سانتیگراد قرار گرفت. ساختار با استفاده از پراش پرتو (XRD) X، مورفولوژی و سایز نانو ذرات با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و زاویه تماس نمونه از طریق عکس برداری با میکروسکوپ دیجیتال مدل AM-7013MZT مورد بررسی قرار گرفت.
Keywords:
Authors
سوسن وجدانی درستکار
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه فردوسی مشهد، دانشکده علوم، گروه فیزیک، آزمایشگاه لایه نازک
محمود رضایی رکن آباد
استاد دانشگاه فردوسی مشهد، دانشکده علوم، گروه فیزیک، آزمایشگاه لایه نازک
محمد بهدانی
دانشیار دانشگاه فردوسی مشهد، دانشکده علوم، گروه فیزیک