تحلیل تاثیر نقص در لبه موجبر تپه ای ساخته شده در لیتیوم نایوبایت

در این تحقیق، قابلیت روش جدید ساخت موجبرهای تپهای در لیتیوم نایوبایت مبتنی بر سونش فیزیکی با گاز آرگون و نفوذ تیتانیوم بررسی میشود. برای این منظور سهم مد انتشاری در قسمت برآمده موجبر تپه ای، اندازه گیری و شبیه سازی شده است. همین طور اثرات نقص های دیواره های موجبر تپهای که یکی از چالشهای این نوع موجبرها است، در مقدار تلفات نور منتشر شده در موجبر، شبیه سازی شده است. ارتفاع قسمت برآمده موجبر ساخته شده 5 /2 میکرومتر است و نقصهای موجود در دیوارهای کناری قسمت برآمده موجبر که به دلیل فرایند لیتوگرافی و به خصوص پوشش نوری به وجود می آ یند، به طور متوسط حدود 002 نانومتر اندازهگیری شده است. در این تحقیق با استفاده از شبیه سازی مقدار نفوذ تیتانیوم و توزیع ضریب شکست در موجبر، نشان داده شده است که با وجود نقصهای دیواره کناری موجبر، با توجه به کارگیری عمق مناسبی برای نفوذ تیتانیوم، ضمن دستیابی به سهم مد انتشاری حدود 05% در قسمت برآمده، تلفات انتشاری کمتر از dB/cm 3 قابل دستیابی است.

Keywords:

لیتیوم نایوبایت , موجبر تپهای , نقص , نفوذ تیتانیوم