تعیین مشخصات پلاسمای مگنترونی با استفاده از پروب لانگمیر
Publish place: Iranian Physics Conference 1387
Publish Year: 1387
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 2,117
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دانلود نمایند.
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
IPC87_232
Index date: 15 December 2009
تعیین مشخصات پلاسمای مگنترونی با استفاده از پروب لانگمیر abstract
پارامترهای پلاسما در تخلیه ی مگنترونی با استفاده از تکنیک تک -پروب اندازه گیری شده است. دمای الکترونی ، چگالی الکترونی در خلأ پایین و در حضور گاز آرگون مورد مطالعه قرار گرفته است . مشاهده گردید که دمای و چگالی الکترونی با کاهش فشار افزایش می یابد.
تعیین مشخصات پلاسمای مگنترونی با استفاده از پروب لانگمیر authors
سمیه تن آرا
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
صمد سبحانیان
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
حسن بیدادی
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
سیروس خرم
پژوهشکده فیزیک کاربردی و ستاره شناسی