سیویلیکا را در شبکه های اجتماعی دنبال نمایید.

Login
PapersConferencesJournals

مقایسه ریزساختار و خواص مکانیکی پوشش های نانو ساختار TiN و TiAlN اعمال شده به روش رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما

Publish place: Sixth National Conference on Nanotechnology in the Electricity Industry
Publish Year: 1397
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 741

This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download

DOWNLOAD Paper

Export:

Link to this Paper:
https://civilica.com/doc/853672

Document National Code:

NANOENERTECH06_024

Index date: 21 May 2019

مقایسه ریزساختار و خواص مکانیکی پوشش های نانو ساختار TiN و TiAlN اعمال شده به روش رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما abstract

هدف از این مقاله، ایجاد پوشش نانوساختار سخت نیترید تیتانیم-آلومینیوم (TiAlN) با استفاده از روش رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PACVD) و مقایسه خواص آن با خواص پوشش نانوساختار نیترید تیتانیم (TiN) میباشد. ابتدا برای بهبود چسبندگی پوشش TiAlN بر زیرلایه فولادی H11، فرایند نیتروژن دهی پلاسمایی به مدت چهار ساعت و سپس پوششدهی میانلایه TiN به مدت یکساعت اعمال شد. هر دو پوشش نانوساختار TiN و TiAlN با استفاده از دستگاه PACVD جریان مستقیم پالسی در بسامد، زمان لایه نشانی، دما و جریان ثابت به ترتیب در 10 کیلوهرتز، 210 دقیقه، 485 درجه سانتی-گراد و 5 آمپر انجام شد. برای پوشش TiAlN ترکیب گازهای نیتروژن، هیدروژن و آرگون به ترتیب 50، 400 و sccm 150 و ترکیب مواد پیش ماده TiCl4 و AlCl3 به ترتیب 12 و sccm 24 در نظر گرفته شدند. برای مقایسه خواص، پوشش دیگر TiN با شرایط فوق بر نمونه دیگر اعمال شد. برای ارزیابی پوشش از میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدان (FE-SEM)، پراش پرتوایکس (XRD) و ریزسختی سنجی ویکرز مورداستفاده قرار گرفت. نتایج دلالت میکند که به دلیل تشکیل محلول جامد آلومینیوم در ترکیب (TiAl)N، خواص مکانیکی پوشش نانوساختار TiAlN بهمراتب بهتر از پوشش TiN میباشد. این بهبود خواص مکانیکی پوشش با دو پدیدهی اثر اندازه دانه نانومقیاس و اثر ضریب بافت بلوری قابل توجیه میباشد

مقایسه ریزساختار و خواص مکانیکی پوشش های نانو ساختار TiN و TiAlN اعمال شده به روش رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما Keywords:

پوشش نانوساختار TiAlN , فرایند رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PACVD) , محلول جامد

مقایسه ریزساختار و خواص مکانیکی پوشش های نانو ساختار TiN و TiAlN اعمال شده به روش رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما authors

حسن علم خواه

دانشگاه بوعلی سینا / استادیار

امیر عبداله زاده

دانشگاه تربیت مدرس / استاد

فرزاد محبوبی

دانشگاه امیرکبیر / استاد

سامان خادم جعفری

دانشگاه تربیت مدرس / دانشجوی کارشناسی ارشد

مقاله فارسی "مقایسه ریزساختار و خواص مکانیکی پوشش های نانو ساختار TiN و TiAlN اعمال شده به روش رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما" توسط حسن علم خواه، دانشگاه بوعلی سینا / استادیار؛ امیر عبداله زاده، دانشگاه تربیت مدرس / استاد؛ فرزاد محبوبی، دانشگاه امیرکبیر / استاد؛ سامان خادم جعفری، دانشگاه تربیت مدرس / دانشجوی کارشناسی ارشد نوشته شده و در سال 1397 پس از تایید کمیته علمی ششمین کنفرانس ملی فناوری نانو در صنعت برق پذیرفته شده است. کلمات کلیدی استفاده شده در این مقاله پوشش نانوساختار TiAlN، فرایند رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PACVD)، محلول جامد هستند. این مقاله در تاریخ 31 اردیبهشت 1398 توسط سیویلیکا نمایه سازی و منتشر شده است و تاکنون 741 بار صفحه این مقاله مشاهده شده است. در چکیده این مقاله اشاره شده است که هدف از این مقاله، ایجاد پوشش نانوساختار سخت نیترید تیتانیم-آلومینیوم (TiAlN) با استفاده از روش رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PACVD) و مقایسه خواص آن با خواص پوشش نانوساختار نیترید تیتانیم (TiN) میباشد. ابتدا برای بهبود چسبندگی پوشش TiAlN بر زیرلایه فولادی H11، فرایند نیتروژن دهی پلاسمایی به مدت چهار ساعت و سپس پوششدهی میانلایه TiN ... . برای دانلود فایل کامل مقاله مقایسه ریزساختار و خواص مکانیکی پوشش های نانو ساختار TiN و TiAlN اعمال شده به روش رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما با 7 صفحه به فرمت PDF، میتوانید از طریق بخش "دانلود فایل کامل" اقدام نمایید.