معرفی روش رسوب فیزیکی بخار برای ساخت قطعات مدار مجتمع
Publish place: Kahroba، Vol: 5، Issue: 20
Publish Year: 1397
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 507
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_KHRBA-5-20_004
تاریخ نمایه سازی: 30 تیر 1398
Abstract:
رسوب شیمایی بخار و رسوب فیزیکی بخار روش های کاربردی در کلیه علوم هستند که با توجه به گسترش فناوریها و مخصوصا صنایع الکترونیک و مدارهای مجتمع، به کارگیری این روش های بخار به صورت فراوان در ساخت قطعات نیمه های می باشد. در این گزارش به صورت مختصر به رسوب شیمیایی بخار پرداخته شده است.
Keywords:
Authors