سیویلیکا را در شبکه های اجتماعی دنبال نمایید.

Login
PapersConferencesJournals

روشی نوین در میکرو - نانو ماشین کاری فتوشیمیایی بدون استفاده از شابلون

Publish place: 17th Annual Conference of Mechanical Engineering
Publish Year: 1388
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 2,472

This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download

DOWNLOAD Paper

Export:

Link to this Paper:
https://civilica.com/doc/90823

Document National Code:

ISME17_662

Index date: 9 April 2010

روشی نوین در میکرو - نانو ماشین کاری فتوشیمیایی بدون استفاده از شابلون abstract

برای ساختن ترانزیستورها و مدارهای مجتمع (IC) و قطعاتی در ابعاد میکرو و نانو از تکنولوژی ماشین کاری شیمیایی دقیق استفاده می شود. در روش ماشین کاری شیمیایی از شابلون و در روش فتوشیمایی از فیلم نگاتیو برای تصویر کردن تصویر طرح برروی سطح قطعه استفاده می شود.

روشی نوین در میکرو - نانو ماشین کاری فتوشیمیایی بدون استفاده از شابلون Keywords:

روشی نوین در میکرو - نانو ماشین کاری فتوشیمیایی بدون استفاده از شابلون authors

علیرضا فدایی تهرانی

استادیار دانشکده مکانیک دانشگاه صنعتی اصفهان

نیما نوری

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک

محمدرضا یاریان

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک

محمدجواد زرکوب

استادیار دانشکده مکانیک

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
D.S Hwang , T.Saito , N Fujimori " New Etching ...
K.C.C _ TSE , D.Nikezic , K.N.Pu "Comprative Studies Of ...
Mark K.Long "Compute Aided Layout Synthesis For Aniotropic Etch Pho ...
Chemical Etching ه 4. H.R.Robbins And B.Schwartz Of Silicon I, ...
H.R.Robbins and B.schwartz _ Chemical Etching Of Silicon II, The ...
H.R.Robbins and B.schwartz _ Chemical Etching Of Silicon II, The ...
D.M Allen "The Principle And Practice Of Photochemicl Machinig And ...
Advance Machining Processes by Hassan Abdel, Gawad EI-Hoy. Alexandria University ...
Chemical Milling , by: W.T.Harris. Oxford university press _ 1976 ...
نمایش کامل مراجع

مقاله فارسی "روشی نوین در میکرو - نانو ماشین کاری فتوشیمیایی بدون استفاده از شابلون" توسط علیرضا فدایی تهرانی، استادیار دانشکده مکانیک دانشگاه صنعتی اصفهان؛ نیما نوری، دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک؛ محمدرضا یاریان، دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک؛ محمدجواد زرکوب، استادیار دانشکده مکانیک نوشته شده و در سال 1388 پس از تایید کمیته علمی هفدهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک پذیرفته شده است. کلمات کلیدی استفاده شده در این مقاله میکرو، نانوماشینکاری، فتوشیمایی، اپتیک هستند. این مقاله در تاریخ 20 فروردین 1389 توسط سیویلیکا نمایه سازی و منتشر شده است و تاکنون 2472 بار صفحه این مقاله مشاهده شده است. در چکیده این مقاله اشاره شده است که برای ساختن ترانزیستورها و مدارهای مجتمع (IC) و قطعاتی در ابعاد میکرو و نانو از تکنولوژی ماشین کاری شیمیایی دقیق استفاده می شود. در روش ماشین کاری شیمیایی از شابلون و در روش فتوشیمایی از فیلم نگاتیو برای تصویر کردن تصویر طرح برروی سطح قطعه استفاده می شود. ... . برای دانلود فایل کامل مقاله روشی نوین در میکرو - نانو ماشین کاری فتوشیمیایی بدون استفاده از شابلون با 5 صفحه به فرمت PDF، میتوانید از طریق بخش "دانلود فایل کامل" اقدام نمایید.