اندازه گیری میزان تخلخل در نمونه های سیلیکون با روش بیضی سنجی خاموش

دانستن میزان تخلخل سطوح در کاربردهایی همچون ساخت حسگرها، کاتالیزورها، سلولهای خورشیدی، پیلهای سوختی و غیره اهمیت دارد و روشهای اپتیکی ازجمله مناسبترین روشها برای این کار هستند که در کشور ما بطور مستقیم مورد استفاده قرار نگرفته اند. در این مقاله به منظور آشنایی با دانش و مهارت لازم برای این کار، میزان ضریب شکست سه نمونه سیلیکون متخلخل که با شرایط متفاوت تهیه شده اند با استفاده از روش بیضی سنجی خاموش تطبیقی اندازه گیری شده و از روی آن با کمک تقریب محیط موثر بروگمان میزان تخلخل به دست آمده است. همچنین، بستگی میزان تخلخل به جریان الکترولیز در فرایند تهیه نمونه بررسی شده است. نتایج تایید می کنند که میزان تخلخل رابطه مستقیم با این جریان دارد.