شبیه سازی لایه نشانی نانوساختارهای ستونی زاویه دار با روش لایه نشانی مایل
Publish place: Iranian Physics Conference
Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 275
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC93_315
تاریخ نمایه سازی: 5 آذر 1398
Abstract:
در این تحقیق، یک شبیه سازی سه بعدی لایه نشانی با روش کنار نشست برای طراحی و ساخت نانومیله ها ی نازک ارائه شده است. ابتدا با استفاده از نرم افزارمراحل رشد شبیه سازی شده و سپس با استفاده از دستگاه لایه نشانی بخار نشست ) PVD ( رشد داده میشوند. همچنین مطالعه ریخت شناسی سطح لایه نازک نقره باروش لایه نشانی مایل مورد بررسی قرارگرفته است. تاثیر انحراف زاویه اتمهای ورودی و زاویه لایه نشانی بر قطر نانومیله های نازک مورد مطالعه قرارگرفته وانحراف زاویه 4 درجه برای مطابقت با نتایج تجربی انتخاب شده است. بهترین زاویه برای رشد همگن ترین نانومیله ها 86 درجه شناسایی شده است
Authors
وحید فلاح حمیدآبادی
تهران، بزرگراه جلال آل احمد، پل نصر، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده علوم پایه، بخش فیزیک
نادر صبح خیز
تهران، بزرگراه جلال آل احمد، پل نصر، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده علوم پایه، بخش فیزیک
احمد مشاعی
تهران، بزرگراه جلال آل احمد، پل نصر، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده علوم پایه، بخش فیزیک