شبیه سازی یکسامانه اپتیکالکترونی برای لایه نشانی به روشتبخیر فیزیکیEB-PVD
Publish place: 2nd National Conference on Optic and Laser Engineering
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 779
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCOLE02_128
تاریخ نمایه سازی: 24 اسفند 1389
Abstract:
با استفاده از یکسامانه اپتیکذرات باردار میتوان پرتوی از الکترون ، تولید و آنرا منحرف ، یا در یکنقطه کوچک متمرکزنمود. از پرتوهای الکترونی با چگالی جریان ثابت برای تبخیر مواد درلایه نشانی استفاده میشود.در این مقاله شبیهسازی تفنگالکترونی با کاتد ترمویونیکبرای لایه نشانی به روشتبخیر فیزیکی را انجام دادهایم.برای شبیه سازی پرتو الکترونی از کدمحاسباتیEBSLITE2.0 استفاده شده است.در نهایت به پرتو الکترونی شبیه سازی شدهای با شعاع پرتو0/09mm و توانی برابر با5/25KVA دست یافتیم.
Keywords:
Authors
احسان بازوند
دانشگاه شهیدچمران.گروه فیزیک.اهواز.ایران
فاطمه همایون
دانشگاه شهیدچمران.گروه فیزیک.اهواز.ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :