تحلیل دینامیکی و کنترل مقاوم غیرخطی عملگرهای پیچشی نانوالکتروستاتیک با کنترلر مبتنی بر مدل دینامیکی

یکی از ادوات سیستمهای نانوالکترو مکانیکی سنسورها و عملگرهای پیچشی نانوالکترواستاتیک می باشند که با توجه به تحقیقات انجام شده دارای کاربرد فراوانی در صنعت از جمله کاربرد در میکروسکوپ نی روی اتمی وسائل ارتباطات نوری، اسکنهای لیزری مدولاتورهای سبک، عملگرها و حسگرها مورد استفاده در صنعت هوافضا می باشند. طی این پژوهش به منظور جلوگیری از پدیده پولین که یکی از پارامترهای مهم در طراحی عملگرهای پیچشی نانوالکتروستاتیک می باشد از کنترلر مبتنی بر مدل دینامیکی استفاده شده و با کنترل گشتاور الکتروستاتیک زاویه انحراف عملگر در موقعیت مطلوب تنظیم شده است. بدین منظور ابتدا برای بدست آوردن ولتاژ و زاویه انحراف پولین در شرایط مختلف با استفاده قانون اویلر معادلات حرکت بدون بعد شده دینامیکی عملگر تحت اثر نیروهای واندروالس و دمپینگ استخراج و با استفاده از آنالیز کیفی نقاط تعادل و پایداری بررسی شده است.

Keywords:

عملگر پیچشی نانوالکتروستاتیک , میکروسکوپ نیروی اتمی , واندروالس , پولین , کنترلر مبتنی بر مدل دینامیکی