مروری بر طیف سنجی فوتوالکترون پرتو XPS) X )وکاربردهای آن

طیف سنجی فوتوالکترون پرتو (XPS) X به یکی از پرکاربردترین تکنیکهای آنالیز سطح تبدیل شده است. XPS یا طیف سنجی الکترونی برای تجزیه و تحلیل شیمیایی با قابلیت به دست آوردن ترکیب عنصری کمی، حالت شیمیایی و اطلاعات ضخامت لایه پوششی از بالای ۱۰ نانومتر از سطح نمونه، یک روش همهکاره و گسترده است. در این مقاله مروری، اصول اولیه این تکنیک از جمله اثر فوتوالکتریک، چگونگی برهمکنش الکترونها با ماده، عوامل موثر در این تکنیک مانند آلودگی سطحی، و اثر محیط شیمیایی اطراف یک عنصر بر انرژی اتصال الکترونهای خود ارائه شده است. همچنین کاردبردها و روشکار این تکنیک مورد بحث قرار گرفته است.

Keywords:

طیف سنجی فوتوالکترون پرتو (XPS) X , الکترون اوژه , آنالیز عنصری , پرتو X