طراحی و ساخت محفظه خلاء به منظور لایه نشانی به روشهای کند و پاش لیزری و مغناطیسی
Publish place: 2nd National Conference on Vacuum
Publish Year: 1385
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 4,309
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NCV02_004
Index date: 9 February 2007
طراحی و ساخت محفظه خلاء به منظور لایه نشانی به روشهای کند و پاش لیزری و مغناطیسی abstract
در این مقاله گزارش مختصری از طراحی و ساخت یک دستگاه لایه نشانی در خلا به روش کندو سوز لیزری وکند و پاش مغناطیسی ارائه میگردد. معرفی مشخصات کلی تجهیزات طزاحی و ساخته شده مانند محفظه اصلی، کاتد کندوپاش مغناطیسی، نگهدارنده هدف، فیدتروهای مکانیکی و الکتریکی مناسب برای خلا از مواردی است که به آنها پرداخته خواهد شد
طراحی و ساخت محفظه خلاء به منظور لایه نشانی به روشهای کند و پاش لیزری و مغناطیسی authors
سیداحمد مهدوی اردکانی
دانشکده صنعت هواپیمایی کشوری
اعظم ایرجی زاد
دانشکده فیزیک، دانشگاه تهران
سیدمحمد مهدوی
دانشکده فیزیک، دانشگاه تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :