طراحی و ساخت محفظه خلاء به منظور لایه نشانی به روشهای کند و پاش لیزری و مغناطیسی
Publish place: 2nd National Conference on Vacuum
Publish Year: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 4,187
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCV02_004
تاریخ نمایه سازی: 20 بهمن 1385
Abstract:
در این مقاله گزارش مختصری از طراحی و ساخت یک دستگاه لایه نشانی در خلا به روش کندو سوز لیزری وکند و پاش مغناطیسی ارائه میگردد. معرفی مشخصات کلی تجهیزات طزاحی و ساخته شده مانند محفظه اصلی، کاتد کندوپاش مغناطیسی، نگهدارنده هدف، فیدتروهای مکانیکی و الکتریکی مناسب برای خلا از مواردی است که به آنها پرداخته خواهد شد
Authors
سیداحمد مهدوی اردکانی
دانشکده صنعت هواپیمایی کشوری
اعظم ایرجی زاد
دانشکده فیزیک، دانشگاه تهران
سیدمحمد مهدوی
دانشکده فیزیک، دانشگاه تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :