شبیه سازی سه بعدی رشد لایه های نازک

در این مقاله از مدل ساده سه بعدی برای بررسی رابطه بین میکروساختار و شرایط انباشت (دمای زیر لایه، آهنگ انباشت، زاویه انباشت، و زبری لایه) استفاده می شود. مشاهده میکنیم که افزایش دمای زیر لایه و آهنگ انباشت منجر به حفره های کمتر و کوچکتر و سطح هموارتر و چگالی بیشتر می شود. همچنین وقتی زاویه انباشت افزایش می یابد، میکرو ساختار تغییر می کند یعنی لایه چگال با حفره های کم به ساختار متخلخل با ستون هایی با شکل مشخص تبدیل می شود. پدیده پخش که نقش مهمی در رشد لایه های نازک دارد نیز بررسی می شود. در این مدل کره های سخت روی یک خط راست حرکت می کنند و در نقطه ای روی سطح که طول گیر اندازی بیشتری دادر بر آسوده می شوند. این برآسودگی به آرایش اتم های بر آسوده قبلی بستگی دارد. نتایج حاصل با آنچه تا کنون گزارش شده سازگار است.