خواص فیزیکی لایه های ITO بر بستر انعطاف پذیر Poly Ethylene Terephthalate

هدف از این پژوهش، بررسی خواص فیزیکی لایه های ITO بر روی دو نوع مختلف زیر لایه، بر حسب تغییر توان کندوپاش و در نهایت بدست آوردن لایه ای بهینه با مقاومت ویژه حداقل و شفافیت مناسب در محدوده مرئی می باشد. در ابتدا لایه های نازک رسانا و شفاف اکسید ایندیم آلاییده به قلع (ITO) با استفاده از هدف سرامیکی In2O3-SnO2,90-10wt%) ITO) بر روی زیرلایه های شیشه و بستر انعطاف پذیر PET به شیوه کندوپاش RF لایه نشانی شده اند. پس از انجام لایه نشانی، خواص الکتریکی، اپتیکی، ساختار کریستالی و ساختار سطحی نمونه ها با کمک آنالیزهای اندازه گیری مقاومت چهار پروبی، طیف سنجی XRD, UV/VIS/IR و AFM مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج نشان می دهند که لایه های نازک ITO که بر روی بستر انعطاف پذیر PET لایه نشانی شده اند، دارای 77% میانگین درصد عبور نوری و مقاومت ویژه 9/4 ضربدر 10 به توان 3- Ωcm هستند در حالیکه بر روی زیر لایه شیشه میانگین درصد عبور نوری 83% و مقاومت ویژه 0/93 ضربدر 10 به توان 4- Ωcm است. بررسی های انجام شده نشان می دهند که با توجه به مقادیر بدست آمده، این لایه برای ساخت سلول های خورشیدی مناسب است.