استفاده از مواد پیزوالکتریکی pzt و zno در دیافراگم های قابل استفاده در پزشکی

با توجه به شیوع آسیب های شنوایی در انسان، ضرورت استفاده از سمعک رو به افزایش است. به طوریکه سمعک هایبا انواع مختلف در بازار پزشکی موجود می باشد. ولی سمعک از نوع قابل کاشت در گوش از مزایای بیشتری برخوردار است.در این مقاله از یک میکروفن میکروالکترومکانیکی (MEMS) که بر روی یک ویفر سیلیکونی با دیافراگم های دایره مستطیل و مربع پیشنهاد شده است. این دیافراگم میکروفن پیزوالکتریک قابل کاشت در گوش مبتنی بر تکنولوژی میکروالکترومکانیکی (MEMS) قادر به تبدیل سیگنال صوتی به سگینال الکتریکی می باشد. با بررسی دو نوع ماده متفاوت بر روی دیافراگم با مواد پیزوالکتریک PZT, ZNO به صورت مجزا و چسبیده به هم مورد بررسی قرار گرفته شده است. با توجه به شبیه سازی های انجام شده در نرم افزار Comsol و تحت شرایط شبیه سازی یکسان می باشد. که در نهایت یکی ازاشکال که کارایی بهتری نسبت به اشکال دیگر را دارد را ارایه می شود. و پاسخ مکانیکی و الکتریکی از طریق نرم افزارcomsol شبیه سازی شده است.

Keywords:

سمعک قابل کاشت در گوش , میکروفن پیزوالکتریک , PZT , MEMS و Comsol , ZnO , دیاگرام