مقایسه ویژگی های ساختاری لایه های نازک اکسید نیکل غیر آلاییده و آلاییده با ایندیوم

در این تحقیق لایه ای نازک اکسید نیکل غیر آلاییده و آلاییده با ایندیم :3 و :5 به روش اسپری پایرولیزیز ساخته شد. برای بررسی خواص ساختاری نمونه ها از آنالیز پارش اشعه ایکس XRD و آنالیز طیف سنجی پراش اشعه انرژی اشعه ایکس EDX استفاده گردید. نتایج بدست آمده بیانگر این است که رشد لایه ها در راستای ارجح صفعه 111 است و پیکی که نشان دهنده وجود ایندیوم در نمونه ها باشد مشاهده نگردید. تحلیل ریخت شناسی نمونه ها توسط آنالیزهای میکروسکوپ نیروی اتمی AFM و میکروسکوپ الکترونی روبش گسیل میدانی FESEM انجام شد.

Keywords:

لایه نازک , اکسید نیکل , ایندیم , روش اسپری پایرولیزیز