طراحی و ساخت میکروفیکسچر به روش UV-LIGA
Publish Year: 1384
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,497
This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICME07_185
تاریخ نمایه سازی: 6 آذر 1388
Abstract:
بعلت گسترش روند استفاده از قطعات کوچک در محصولات مختلف، اغلب اینگونه قطعات از جمله قطعات MEMS در فرایندهای تولید دسته ای و به صورت انبوه ساخته می شوند. حمل و نقل و مونتاژ این قطعات بکمک میکرو روباتها بسیار زمان بر وپرهزینه است. بنابراین استفاده از میکروفیکسچرها در بازرسی، مونتاژ و حمل و نقل این قطعات به هنگام تولید انبوه ضروری است. دراین مقاله تکنولوژی جدید UV-LIGA با توجه به ارزانقیمت بودن آن نسبت به سایر روشها و کارآیی زیاد آن، برای ساخت سیستم میکروفیکسچرینگ انتخاب گردید. هدف اصلی این مقاله طراحی و ساخت میکروفیکسچر قطعات MEMS است. برای دستیابی به این هدف، میکروفیکسچری برای موقعیت دهی و نگهداری قطعات ریز با ابعاد ۵۰ تا ۷۰۰ میکرومتر طراحی و ساخته شد.برای حرکت دادن و موقعیت دهی قطعات، ارتعاشات مکانیکی در محدوده فرکانس اولتراسونیک توسط سرامیک پیزو، در بستر ویفرایجاد می شود. بعد از شناور شدن قطعات در اثر غلبه ارتعاشات مکانیکی بر نیروهای چسبدگی واندروالس و الکترواستاتیک، قطعه کار در سطح ویفر شناور شده و به طرف دهانه ورودی میکرو فیکسچر هدایت می شود تا در داخل فضای میکرو فیکسچر موقعیت دهی شود.
Keywords:
Authors
محسن حامدی
استادیار دانشکده فنی، نویسنده برای مکاتبات
حامد اسماعیل پور مطلق
کارشناس ارشد ساخت و تولید
محمد بیدهندی
دانشجوی کارشناسی ارشد ساخت و تولید
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :