Investigation of the Annealing Effect on Roughening of ITO Thin Films Surfaces
Publish place: 3rd International Conference on Materials Heat Treatment
Publish Year: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: English
View: 1,763
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICMH03_058
تاریخ نمایه سازی: 21 تیر 1391
Abstract:
Thin films of Indium tin oxide (ITO) were deposited on glass substrates at room temperature (RT) by electron beam evaporation and then annealed in air at different temperatures for an hour. The thin film structure and surface roughening were investigated by X-ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM) techniques. The evolution of surface structure of the thin films during the deposition and annealing was investigated by mathematical methods. Fractal dimensions of the ITO thin films surfaces as a function of annealing temperatures were determined using box counting method. The results indicated that the surface roughening of the ITO thin films occurs during annealing process
Keywords:
Authors
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :